Fügen in der Feinwerk- und Mikrosystemtechnik

Dozent:Univ.-Prof. Dr.-Ing. Prof. h. c. Klaus DilgerWS
Assistent:Dipl.-Ing. Mario Wagner
Termin:Mittwoch, 10:30 - 12:00 UhrOrt:LK 8.1Beginn:25.10.2017
Abschluss:Master / Hauptdiplom

Vorlesung

 

Qualifikationsziele

Hybride Mikrosysteme stellen eine hohe Herausforderung an die Fügetechnik dar. In kleinsten Dimensionen müssen Fügeverbindungen von hoher Qualität reproduzierbar gefertigt werden. Die Studierenden erwerben in dem Modul die theoretischen Grundlagen von Fügetechniken in der Mikrosystemtechnik. Mit dem erworbenen Wissen sind sie in der Lage, Fügeverbindungen in der Feinwerk- und Mikrosystemtechnik auszulegen und auszuführen.  

Inhalte

Die verschiedenen vorgestellten Mikrofügeverfahren und ihre Anwendungsgebiete:

  • Mikrokleben:
    Einführung in die Klebtechnik, aktueller Stand der Technik beim Mikrokleben, ausgewählte Beispiele aus dem Bereich der Feinwerk- und Mikrosystemtechnik
  • Mikrolaserstrahlschweißen, Mikrolöten und Bonden:
    Einführung in die Laserstrahltechnik, aktueller Stand der Technik beim Mikrolaserstrahlschweißen, Mikrolöten und Bonden, ausgewählte Beispiele aus dem Bereich der Feinwerk- und Mikrosystemtechnik
  • Mikroelektronenstrahlschweißen:
    Einführung in die Elektronenstrahltechnik, aktueller Stand der Technik beim Mikroelektronenstrahlschweißen, ausgewählte Beispiele aus dem Bereich der Feinwerk- und Mikrosystemtechnik
  • Kurzvorstellung weiterer Mikrofügeverfahren  

Literatur

  1. Menz, W., Mohr, J.: Mikrosystemtechnik für Ingenieure. VCH Verlaggesellschaft mbH, 1997
  2. Mescheder, U.: Mikrosystemtechnik - Konzepte und Anwendungen. B.G. Teubner Verlag, 2004
  3. Glück, M.: MEMS in der Mikrosystemtechnik - Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme. B.G. Teubner Verlag, 2005 

Übung

Ankündigung in der Vorlesung

Prüfung

meist mündliche Prüfung; je nach Teilnehmerzahl 

Ansprechpartner

Dipl.-Ing. Mario Wagner Mario Wagner
Dipl.-Ing.

+49 531 391 955 91
mario.wagner@tu-braunschweig.de

ifs - Report

Institutsbroschüre

Die ifs Broschüre zum Download